CFT05V1253型美國(guó)lesker法蘭真空陶瓷斷裂原因分析
美國(guó)lesker提供具有用于生產(chǎn)和研究應(yīng)用程序的機(jī)器人轉(zhuǎn)移的單室沉積系統(tǒng)或群集工具,以及對(duì)過(guò)程,應(yīng)用,機(jī)械,機(jī)械,電氣和軟件工程的廣泛了解。
CFT05V1253型美國(guó)lesker法蘭真空陶瓷斷裂原因分析如下:
機(jī)械應(yīng)力集中?
CF法蘭采用金屬靜密封設(shè)計(jì),其刀口結(jié)構(gòu)在安裝時(shí)可能對(duì)陶瓷部件產(chǎn)生局部應(yīng)力,若陶瓷材料存在微裂紋或厚度不均,易在應(yīng)力集中處斷裂?。
Lesker法蘭的陶瓷饋通件通常需承受高真空環(huán)境(10^-12 mbar)和高溫烘烤(250℃以上),材料熱膨脹系數(shù)不匹配會(huì)加劇應(yīng)力?。
?熱沖擊或溫度梯度?
陶瓷材料(如氧化鋁)在快速升溫/降溫時(shí)易因熱應(yīng)力開(kāi)裂。若真空系統(tǒng)烘烤程序未按規(guī)范操作(如升溫速率過(guò)快),可能導(dǎo)致陶瓷斷裂?。
?材料缺陷或工藝問(wèn)題?
陶瓷內(nèi)部氣孔、雜質(zhì)或燒結(jié)不均勻會(huì)降低機(jī)械強(qiáng)度,在真空環(huán)境下可能引發(fā)微裂紋擴(kuò)展?。
Lesker法蘭的陶瓷部件需滿足超高真空兼容性,若材料質(zhì)量不達(dá)標(biāo)(如未使用無(wú)氧銅密封或高純度陶瓷),斷裂風(fēng)險(xiǎn)增加?
CFT05V1253型美國(guó)lesker法蘭真空陶瓷斷裂規(guī)格:
除非另有說(shuō)明,否則下表中列出的所有維度為英寸。
電壓(KVDC):5
袖子材料:科瓦爾
絕緣材料:氧化鋁
熱范圍(°C):-55至450
法蘭安裝:DN35CF-DN40CF(OD為2.75)
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